Hikmat A Hamad, Nibras F Ali e Haitham M Farok
Características de funcionamento de uma fonte de iões de energia catódica de baixa energia
Este trabalho é concebido e construído uma fonte de iões Freeman modificada, utilizada para utilização catódica de iões. A escolha desta fonte de iões foi baseada no seu notável sucesso na indústria de semicondutores empregando técnicas de implantação iónica. É fornecida uma descrição técnica detalhada do design e fabrico da fonte de ícones. Foram realizadas transações de corrente de emissão termiónica e as características de descarga da fonte de iões foram monitorizadas de perto. Além disso, os efeitos de alguns parâmetros como; estudaram-se a tensão de tensão catódica, a pressão, a intensidade do campo magnético, a tensão do arco e a corrente do filamento no valor da corrente do elétrodo pulverizado. Verificou-se que estas configurações podem ser variadas de forma independente, permitindo-nos controlar o funcionamento da fonte de ícones e do processo de frequência catódica. Os resultados primários dos feixes de iões extraídos, utilizando uma placa de extração simples de aço inoxidável, mostram uma redução da corrente total do feixe de iões detetados sob o processo de concentração catódica.