Nanofabricação é o projeto e fabricação de dispositivos com dimensões medidas em nanômetros. Um nanômetro é um milionésimo de milímetro. Tópicos de interesse para Nanofabricação são todos os aspectos dos métodos litográficos visando a escala submicrométrica a nanoescala, e a aplicação das estruturas e dispositivos criados em experimentos físicos e biomédicos. A nanofabricação é de interesse para engenheiros de computação porque abre a porta para microprocessadores e chips de memória de super-alta densidade. Foi sugerido que cada bit de dados poderia ser armazenado em um único átomo. A divisão da nanotecnologia que envolve o estudo e aplicação de nanoestruturas é denominada Nanofabricação. Nos últimos anos, houve desenvolvimentos importantes nos métodos utilizados para a fabricação de dispositivos em nanoescala. Os métodos incluem litografia por feixe de elétrons, deposição de camada atômica e deposição de vapor molecular. Todas estas técnicas são extensões do avanço científico geral, em oposição aos métodos que foram concebidos com o único propósito de fabricar nanodispositivos.