Revista de Nanomateriais e Nanotecnologia Molecular

Nanolitografia

Nanolitografia é o ramo da nanotecnologia preocupado com o estudo e aplicação da fabricação de estruturas em escala nanométrica e da arte de gravar, escrever ou imprimir em nível microscópico. As dimensões dos caracteres são da ordem de nanômetros. Os instrumentos usados ​​​​na nanolitografia incluem o microscópio de sonda de varredura (SPM) e o microscópio de força atômica (ATM). O SPM permite a visualização detalhada da superfície sem necessariamente modificá-la. Tanto o SPM quanto o ATM podem ser usados ​​para gravar, escrever ou imprimir em uma superfície em dimensões de átomo único. A nanolitografia é usada, por exemplo, durante a nanofabricação de circuitos integrados de semicondutores de ponta (nanocircuitos), para sistemas nanoeletromecânicos (NEMS) ou para quase qualquer outra aplicação fundamental em várias disciplinas científicas em nanopesquisa. Esta tecnologia pode ser adequada para uso na nanofabricação de diversos Circuitos Integrados (ICs) semicondutores, NEMS e para diversas aplicações em pesquisa.